技術(shù)文章
Technical articles越來越多的研究發(fā)現(xiàn),在半導(dǎo)體圓片和液晶基板加工潔凈室中,除了存在空氣懸浮顆粒沾污外,還存在以氣相或蒸汽形式存在的分子污染物(AirborneMolecularContaminants,AMC)。隨著特征尺寸(CD)的不斷縮小,AMC將會(huì)越來越嚴(yán)重地影響圓片和液晶基板加工質(zhì)量和成品率,并會(huì)影響潔凈室內(nèi)工作人員的身體健康。文章介紹了AMC的分類、來源、危害性、控制標(biāo)準(zhǔn)和方法,希望以此引起人們對(duì)AMC的重視,并采取相應(yīng)的控制措施。AMC可分為下列四類:(1)MA(Molecular...
垃圾分類這一政策雖然麻煩,但對(duì)于減少垃圾來說還是益處很大。北京第五座生活垃圾焚燒廠的負(fù)責(zé)人稱,“生活垃圾分類后,垃圾熱值能提升20%以上,大大提升了垃圾焚燒的發(fā)電量,隨著垃圾分類工作的推進(jìn),一方面垃圾焚燒廠在環(huán)保排放控制方面的壓力會(huì)降低,另一方面再生能源轉(zhuǎn)換率會(huì)進(jìn)一步提升?!贝蠹叶贾?,垃圾的處理通常分為填埋和焚燒兩種辦法,現(xiàn)如今國(guó)家人口眾多,沒有多少地可以用來填埋垃圾,一般用焚燒的方法處理比較多,焚燒垃圾可以發(fā)電,但同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生有害氣體,所以需要監(jiān)測(cè)氣體排放,防止有害氣體過...
固定污染源通常是指向環(huán)境排放或釋放有害物質(zhì)或?qū)Νh(huán)境產(chǎn)生有害影響的場(chǎng)所、設(shè)備和裝置?!秶?guó)家大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)制訂技術(shù)導(dǎo)則》(HJ945.1-2018)明確規(guī)定,固定污染源是指排放大氣污染物的各類行業(yè)企業(yè)、場(chǎng)所、生產(chǎn)設(shè)施、固定設(shè)備等,簡(jiǎn)稱固定源?!豆潭ㄔ磸U氣監(jiān)測(cè)技術(shù)規(guī)范》(HJ/T397—2007)指明,污染源是排放大氣污染物的設(shè)施或建筑構(gòu)造(如車間等)。固定源是燃煤、燃油、燃?xì)獾腻仩t和工業(yè)爐窯以及石油化工、冶金、建材等生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢氣通過排氣筒向空氣中排放的污染源。固定污染...